近日，智芯達真空設備（江蘇）有限公司自研的IZO低溫低損傷磁控濺射設備完成調試驗收，正式交付硅基Micro‑OLED頭部生產線。這是江蘇省鹽南高新區在高端真空裝備領域的重要技術突破，將推動我國AR/VR硅基顯示鍍膜裝備實現關鍵國產化替代。

硅基Micro‑OLED是AR/VR、車載近眼顯示的核心器件，發光材料敏感度高，傳統進口設備易損傷有機膜層，影響產品良率。該自研設備依托自主專利技術，將基底溫度穩定控制在40—60℃，有效降低粒子沖擊損耗﹔通過優化結構設計，膜層均勻誤差控制在±2%，厚度達到納米級。設備核心工藝對標國際進口產品，在低溫防護、量產能力、良品把控等方面具備競爭優勢。

據智芯達副總經理洪耀介紹，此次設備研發交付周期緊張，短於海外同類產品交付時長。研發團隊優化設備結構，完成關鍵零部件國產化配套，實現與進口設備持平的技術水准，為國內近眼顯示廠商提供國產化方案，有效降低生產線建設與運維開支，加快相關產業鏈自主可控進程。

立足現有技術成果，企業持續拓寬研發賽道，多款新型設備有序推進驗証與研發工作，可有效破解傳統制造短板，適配5G、6G及先進芯片封裝產業需求。目前企業手握60余項國內外授權專利，設備核心部件均實現本土自研制造，后續將持續加大研發投入，推進自研設備量產落地，賦能新型顯示產業提質升級。

此次技術突破是鹽南高新區培育真空裝備新質生產力、做強新型顯示配套產業鏈的重要成果。下一步，鹽南高新區將聚焦戰略性新興產業，強化企業科創扶持、產業鏈要素供給、產業載體配套全鏈條保障，持續引進培育優質科創企業，壯大高端裝備產業集群。