揚州企業研發半導體制造設備取得新突破。近日,記者從揚州思普爾科技有限公司獲悉,該公司已完成涂膠機、顯影機、等離子去膠機樣機的制造,正進行工藝實測,預計6月正式量產。總經理張桂陽介紹:“擴散爐、清洗機的研發已接近尾聲,預計7月出樣機。”
研發出半導體制造設備,是我市電子信息制造產業擴鏈補鏈強鏈的最新突破。半導體產業不僅是電子信息制造產業的“皇冠”,也是工業轉型升級和經濟社會智能化發展的基石,分為集成電路、分立器件(特色工藝集成電路)、光電子器件和傳感器件等類別。近年來,隨著一批技改項目上馬和招商引資企業落戶,我市電子信息制造產業正在加快擴鏈補鏈強鏈步伐。
突破“卡脖子”技術,這家企業研發出系列半導體制造設備
制造設備是半導體產業鏈國產化率最低的環節之一。思普爾科技能夠突破“卡脖子”技術,緣於在行業內久久為功的深耕,以及與韓國一家技術團隊的合作。
思普爾科技2011年成立,從事半導體制造設備的研發、生產與技術服務,核心成員曾在國內知名科研院所和海外半導體機構擔任研發高管,具有豐富的工廠化技術實踐經驗。近年來,隨著國家大力發展半導體產業,思普爾科技迎來爆發式增長,2018年銷售1500萬元,去年銷售已過億元。
2019年11月,思普爾科技與韓國一家技術團隊簽訂協議,立項研發芯片制造設備,計劃今年實現產業化。“我們的產品可替代進口設備,用於制造6英寸、8英寸和12英寸芯片。”張桂陽介紹,“此前,我們和韓國技術團隊各負責一部分,零部件在揚州完成組裝。通過接觸后,雙方決定深度合作,在揚州成立合資公司,韓國10名研發人員將於7月來揚工作。”
目前,思普爾科技正在加快擴大產能。今年3月,思普爾科技與揚州高新區簽約,分三期投資上馬半導體設備研發制造及6英寸芯片實驗線項目:一期計劃今年10月建成並投入使用﹔二期將加強自主研發和技術引進,制造注入機、光刻機、金屬濺射台、深槽刻蝕機,預計2023年12月底前實施到位﹔三期將建設特殊工藝的芯片生產線及成品封裝生產線。
思普爾科技的發展脈動,是我市半導體產業不斷補鏈的生動掠影。今年4月,在江都經開區,等離子集成電路清洗設備項目正式投產,填補了我市半導體清洗(淨化)設備制造的空白﹔去年下半年,在維揚經開區,揚州摩笛爾電子材料有限公司完成三氟碘甲烷氣體的中試,填補了我市半導體制造基礎性材料——高純度電子氣體制造的空白……
開工項目數佔比近1/3,電子信息制造產業加快擴鏈補鏈強鏈
經過多年發展,我市企業在分立器件、無線射頻標簽、傳感器件、新型顯示等細分領域形成了一定的比較優勢,涌現出一批頭部企業:揚杰電子連續兩年在國內功率器件(屬半導體分立器件類)制造領域排名前兩位,川奇光電引領全球電子紙技術,無線射頻標簽年產量持續保持全球第二、亞洲第一,奧力威的車用油量傳感器市場規模國內第一……
在分立器件制造企業中,揚州既有名宿也有新秀。晶新微電子和四菱電子的發展最早可追溯到上世紀60年代﹔揚杰電子於2006年成立,近年來依托資本市場,加快項目布局,已成長為行業領軍企業。去年上半年,揚杰電子開工建設8英寸晶圓和集成電路封測項目,開始向高端功率器件領域進軍。
揚杰電子新上技改項目,是全市電子信息制造產業規模快速擴張的生動案例。近年來,隨著市場需求不斷擴大,我市電子信息制造項目開工數量明顯增加,產業規模正在不斷擴大。
據統計,2019年至今年一季度,全市共有22個電子信息制造項目開工,其中2019年、2020年分別開工7個項目,今年一季度開工8個項目。一季度投資額最大的是磷酸鐵鋰離子儲能電池基地三期,由江蘇中興派能電池有限公司總投資15億元建設。
此外,在光伏產業中,一批重大項目相繼開工建設也在加速產業集聚。據統計,2019年至今年一季度,全市共有12個重大項目開工。其中今年一季度有3個項目開工,投資額最大的是2.5GW光伏組件生產線技術改造項目,由中環艾能(高郵)能源科技有限公司投資20億元建設。
據統計,2019年至今年一季度,在新開工制造業重大項目(含技改)中,電子信息制造業項目佔比接近三分之一。
搶抓產業發展風口,打造特色工藝集成電路“芯”高地
據了解,我市電子信息制造產業擁有規上企業超過300家,2020年主營業務收入接近900億元。
梳理產業布局,各個板塊定位鮮明:邗江區揚州微電子產業園、市開發區新光源產業園和光伏產業園、高郵“中國路燈制造基地”和光儲充產業園、儀征市中興派能儲能電池產業園、寶應縣智能終端產業園、江都區創維智能顯示產業園……一批新老專業園區相互補充,正在形成相對健全的產業生態。
一個個正在進行的技術攻關項目,不但彰顯著企業科技創新的活力,更為產業高質量發展蓄勢賦能:圍繞5G應用場景,揚企正在研發5G基站高穩定電容器用電極箔、5G無源器件﹔圍繞精准3D人臉識別,揚企正在研發光引擎用核心組件﹔圍繞多個消費應用場景,揚企正在研發超小尺寸芯片、適用於多介質表面貼附的無線射頻識別標簽……
當前,電子信息制造產業的市場需求不斷擴大,第四次工業革命到來,新基建、“碳達峰、碳中和”等國家戰略加快部署,電子信息制造產業迎來加速發展的機遇期。電子信息制造產業技術更新快、資金需求大、人才要求高、投資回報周期長,下一步我市將採取哪些措施,精准助力產業高質量發展?
“在揚州微電子產業園,引導企業依托半導體功率器件中試平台,主攻中端功率器件和高端分立器件,打造特色工藝集成電路‘芯’高地。”市工信局有關負責人介紹,同時,加快完善儲能電池產業生態。結合我市鋰離子電池產業儲能產品強於動力產品的現狀,積極引進科技含量更高、技術更先進的龍頭企業的項目。積極向上爭取國網儲能試點示范應用項目在我市落地,為我市企業產品開拓市場創造條件。
“我市將引導企業聚焦新技術新應用,持續擴大光伏產業規模。”該負責人介紹,以高郵市光儲充產業園、市開發區揚州光伏新能源特色產業基地為載體,通過招引企業落戶和上馬技改項目,加快上下游配套項目集聚。(嵇尚東)